1. (2021九上·新兴期末) 硅（Si）是一种重要的半导体材料，应用范围很广。三氯甲硅烷（SiHCl₃）还原法是当前制备高纯硅的主要方法，生产过程如图所示：

1. （1） 硅属于（填“金属”或“非金属”）元素：
3. （2） 写出上述流程中一种氧化物的化学式。
5. （3） 上述流程中①、④反应的化学方程式为；。①和④反应中、都具有还原性。
7. （4） 如果还原SiHCl₃过程中混入O₂ ， 可能引起的后果是。
9. （5） 该流程中可以循环利用的物质的化学式是。